首页  >  成果介绍

成果名称:NMC508M 8英寸铝金属刻蚀机 NMC508M 8 Inch Al Metal Etcher

标       签:全自动 | 刻蚀系统 | 金属刻蚀 | 去胶模块 | 冷却模块 | 电源柜 | 控制柜应用场景:适用于0.35-0.11μm集成电路等
  • 成果水平:
    未评价
  • 应用阶段:
    可以量产
  • 创新形式:
    新产品
  • 合作方式:
    技术转让 独家授权
  • 成果属性:
    原始创新
  • 交易状态:
    未交易
  • 所  在  地:
    北京市
  • 价       格: 
    面议
联系成果专员
分享到: 微信 更多
成果详情

NMC508M 8英寸铝金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机,主要用于200mm硅片的金属铝和钨的刻蚀工艺。NMC508M为多腔室集群设备(Cluster Tool),是一个全自动的、能够进行串行或并行工艺处理的刻蚀系统。该系统主要由传输模块(Transfer Module)、金属刻蚀工艺模块(Metal Etch Process Module)、去胶模块(Strip Process Module)、冷却模块(Cooling station)、电源柜(Remote AC Power Rack)和控制柜(Control Rack)等组成,其中金属刻蚀工艺模块用于进行金属刻蚀工艺,去胶模块用于去除金属刻蚀后的残余光刻胶和残余腐蚀性气体,冷却模块用于为晶圆降温,传输模块用于把硅片安全而准确地传送到指定工位,电源柜用于为系统提供电源,控制柜用于协调调度各个模块的运转。NMC508M铝金属刻蚀机通过独特的腔室结构和温度控制设计,提供优良的颗粒控制能力,维护便利,大幅提升了设备的稳定性、重复性和生产工艺水平。

温馨提示:此页面只对会员开放
                  已是会员 > 直接登录
                  不是会员 > 注册会员
温馨提示:此页面只对会员开放
                  已是会员 > 直接登录
                  不是会员 > 注册会员
温馨提示:此页面只对会员开放
                  已是会员 > 直接登录
                  不是会员 > 注册会员
温馨提示:此页面只对会员开放
                  已是会员 > 直接登录
                  不是会员 > 注册会员
温馨提示:此页面只对会员开放
                  已是会员 > 直接登录
                  不是会员 >  注册会员
温馨提示:此页面只对会员开放
                   已是会员 >  直接登录
                   不是会员 >  注册会员

联系我们

  • 全国工业和信息化科技成果转化联盟
  • 联系电话:010-68209340
  • 邮       箱:chentao@zhongqihuilian.com
  • 地       址:北京市海淀区万寿路27号院(工信部大院)

官方微信

官方微信
工信部电子情报所科技成果评价与推广转化服务中心&北京中企慧联科技发展中心版权所有 Rights Reserved 京ICP备16041171号-1